关键尺寸测量设备

对半导体纳米结构关键特征进行精密量测。

计算光刻软件

用于辅助芯片设计与工艺优化，提升光刻分辨率。

电子束缺陷检测设备

利用高精度电子束实现芯片制造过程中的纳米级缺陷监测。